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微纳光刻技术杂志(Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems)是一本由SPIE出版的一本ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY学术刊物，主要报道ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY相关领域研究成果与实践。本刊已入选来源期刊，属于国际一流期刊。该刊创刊于2007年，出版周期Quarterly。在2021年12月最新升级版中大类学科分区：工程技术 ，2021-2022年最新版WOS分区等级：Q4，2021年的影响因子为1.167，CiteScore指数3.20，SJR指数0.368。本刊非开放获取期刊。
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) 发表同行评审论文，内容涉及满足电子、微机电需求所需的光刻、制造、封装和集成技术的科学、开发和实践系统、微光机电系统和光子学行业。
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院JCR期刊分区（又称分区表、分区数据）是中国科学院文献情报中心世界科学前沿分析中心的科学研究成果。在中科院期刊分区表中，主要参考3年平均IF作为学术影响力，最终每个分区的期刊累积学术影响力是相同的，各区的期刊数量由高到底呈金字塔式分布。
| 学科类别 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 大类：Engineering 小类：Mechanical Engineering | Q2 | 242 / 601 |
59%
|
| 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering | Q2 | 326 / 708 |
53%
|
| 大类：Engineering 小类：Atomic and Molecular Physics, and Optics | Q2 | 101 / 205 |
50%
|
| 大类：Engineering 小类：Condensed Matter Physics | Q2 | 204 / 415 |
50%
|
| 大类：Engineering 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 136 / 259 |
47%
|
CiteScore：该指标由Elsevier于2016年提出，指期刊发表的单篇文章平均被引用次数。CiteScorer的计算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的计算方法是该期刊在2019年、2020年和2021年发表的文章在2022年获得的被引次数，除以该期刊2019年、2020年和2021发表并收录于Scopus中的文章数量总和。
中科院分区 1区 JCR分区
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中科院分区 1区 JCR分区
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中科院分区 3区 JCR分区
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中科院分区 2区 JCR分区
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中科院分区 3区 JCR分区
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中科院分区 1区 JCR分区
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